二手 DNS / DAINIPPON EPD 9825 #9382342 待售

DNS/DAINIPPON EPD 9825是位於日本的DNS Screen開發的一種蝕刻器/asher。該設備具有最先進的設計，由優質材料組成，為用戶提供可靠高效的蝕刻和灰化工藝。這種裝置的主體是對稱結構，加熱室配有石英燈以保證高效加熱。它旨在最大程度地減少產品的分解，讓用戶獲得穩定的化學富集或耗盡效應。此外,該設備還配備了多種安全機制,如傾斜監控傳感器和風扇,以調節內部熱量。該裝置有兩個主腔室，上腔室和下腔室。上腔是裝載反應容器和反應物的地方。下室是進行蝕刻或灰化過程的蝕刻器/灰化器室。其溫度範圍從室溫延伸到500 °C。具有均勻氣體分布的整體式沈積可控護套，以及用於激光束尺寸控制的可移動虹膜膜片和狹縫。為了便於化學反應，該裝置具有內置的質量流控制器（MFC）和超化學吸附技術。MFC調節氣體和材料流向反應容器，而超化學吸附技術有助於加速反應。此外,用戶可以通過觸摸屏控制器根據應用程序要求自定義流程參數。最重要的是，該設備還具有氧氣分析儀和電離型NOx監視器，用於閉環過程控制。氧氣分析儀幫助用戶監測反應室內的氧氣水平，而NOx監測儀則將排放濃度保持在法定限度內。此外,所有與蝕刻器/灰色進程相關的數據都存儲在設備的數據記錄器中,以便於訪問。總的來說，DNS EPD 9825是一種最先進的蝕刻器/asher，為用戶提供高效可靠的蝕刻/ashing工藝。它具有數據記錄、安全機制和先進的過程控制等特點，是研究人員和實驗室的理想選擇。