二手 DNS / DAINIPPON / SCREEN SPW-813 #9402412 待售

DNS/DAINIPPON/SREEN SPW-813是由DNS、SCREEN和DAINIPPON的合資企業設計制造的高性能蝕刻器/asher。它是一種由PC控制的SMIF Pod設備提供動力的小巧可靠的設備。該蝕刻器用於材料去除、PECVD和介電灰化等過程。DNS SPW-813是一種直徑為8英寸的200毫米垂直蝕刻器和asher。它具有500 mm的最佳刀具距離源,可調工藝時間為0-60秒。它配有兩個工藝室，每個室都有不同的功能。第一室用於反應性離子蝕刻（RIE）、各向同性蝕刻和下遊等離子體加工。另一個腔室用於電介質灰化，能夠處理完整的工藝配方或手動控制。SCREEN SPW 813提供種類繁多的加工氣體和化學品，具有高可重復性和高產率的能力。它配備了智能腔室密封系統，可以對晶片進行批量和直列式處理。全自動操作、直觀的圖形用戶界面、先進的過程控制和可靠的操作相結合，是生產的絕佳選擇。可靠性與性能相結合，適合各種半導體產品的大批量生產。SPW-813易於使用和維護。它具有友好的用戶界面和內置的監視器,可在蝕刻和asher過程中提供實時反饋。監控單元還提供過程時間、溫度變化率以及源到目標的距離等信息。它還附帶各種操作診斷,如過程警報和警告,以幫助確保高產率和可靠性。SPW 813是一種環保裝置。它擁有能源之星評級，並利用其SMIF Pod機降低整體功耗。該設備也符合RoHS標準,不產生對環境有害的材料。它具有從工具中完全提取氣體並將粒子生成降至最低的能力。DAINIPPON SPW-813是一款功能強大且可靠的蝕刻器和asher,其制造目的是滿足半導體行業的高度期望。它能夠提供具有可重復結果和高產率的高性能蝕刻和asher過程。其先進的工藝控制資產和友好的用戶界面，使得各種半導體產品能夠始終如一地高質量生產。