二手 DNS / DAINIPPON SP-W813-AS #9107314 待售

DNS/DAINIPPON SP-W813-AS是為高質量半導體器件生產線而設計的蝕刻器和asher。它是一種直接離子束蝕刻和灰化設備，可用於氧化、蝕刻和電鍍等多種裝置工藝。該系統利用了最先進的蝕刻和灰化技術來創建高質量的半導體器件層。通過消除死區，最大限度地減少蝕刻和灰化層的變化，實現了高度精確和均勻的沈積。該單元采用激光誘導化學氣相沈積（LCVD）技術，4軸平行機器人，以及高精度微型機器人，使得器層的蝕刻和灰化精度很高。它還具有獨特的3D成像攝像機，用於三維空間中的關鍵成像。該工具使直接離子束能夠精確聚焦和掃描，以進行數據檢索和過程反饋控制。此外，該資產采用了高質量的溫度控制技術，以確保高精度的蝕刻和灰化。DNS SPW-813AS是利用先進運動控制技術在同一X-Y-Z空間內控制二維工件運動的高效模型。該設備還集成了自動檢測和檢查零件的機器視覺。DAINIPPON SPW813-AS系統旨在實現一致的性能和靈活性。它有一個廣泛的參數數據庫，可以為各種工藝設置，從晶圓的蝕刻到集成電路板的灰化。另外，該單元適用於各種加工條件，從弱電離氧到各種壓力環境下的氮等離子體。總體而言,DAINIPPON SPW-813-AS是一款功能強大的蝕刻和灰化機,可輕松創建高質量的半導體器件層。它利用最先進的蝕刻和灰化技術提供無與倫比的結果。專為優質半導體器件生產線而設計。