二手 DNS / DAINIPPON SPW-612 #9018575 待售

DNS/DAINIPPON SPW-612是一種用於精密蝕刻和灰化任務的蝕刻和灰化設備。該系統非常適合於快速灰化和蝕刻矽片、砷化氙晶片等基材，以及其他半導體基材材料。該單元包括一個12英寸晶片卡盤旋轉家，兩個電磁執行器是能夠XYZ運動，和一個過程氣體供應。該機器設計為使用由GFS-1000供氣工具提供的過程氣體，或者由Argon或Nitrogen。該資產由基於Cerberus SH 1000 NXT PLC的軟件控制,該軟件用於對自動化過程進行編程,從而使用戶能夠對多個基板進行矩陣模式處理。該模型還配備了濕蝕刻工藝，利用稀氫氟溶液均勻蝕刻基材。這樣可以實現高度精確的蝕刻,而無需依賴手動過程。設備還采用靜電載荷夾緊機構，在加工時將基板牢固固定到位。這樣可以確保晶片在處理過程中不會脫落。該系統還具有工藝排氣鼓風機，其設計目的是減少顆粒汙染。DNS SPW-612的灰度和蝕刻系統能夠產生小至1微米的圖樣尺寸,具有較高的蝕刻均勻性。該設備高度可靠，設計目的是減少浪費，為操作員節省時間。該機還能每小時吞吐量高達200晶圓，適用於生產規模蝕刻和灰化任務。該工具還旨在減少EMI排放。總體而言，DAINIPPON SP-W612是一種高度可靠、精密控制的蝕刻器和asher資產，適用於廣泛的應用。它能夠提供高度精確、均勻的蝕刻和灰度處理,其精確度無法通過手動處理來實現。此模型可減少生產過程中的浪費、時間和EMI排放,非常適合蝕刻和灰化任務。