二手 DNS / DAINIPPON SPW-813A #293642853 待售

DNS/DAINIPPON SPW-813A是一種高級蝕刻器,能夠處理掩埋結構、平坦基板和設備復雜的三維結構。這種先進的蝕刻技術可以達到高達1.8µm的分辨率。DNS SP-W813-A能夠蝕刻許多底物，包括矽底物、鎢、聚酰亞胺和聚合物。也適用於在廣泛的半導體基板上單飛或多飛使用。這種先進的蝕刻器利用幹條法精確地剝去基板上可能存在的任何塗層。DAINIPPON SPW-813-A能夠蝕刻與醫學相關的復雜三維結構。這允許大量的應用，從產生聲音傳感器到產生振動傳感器。可以達到的最小線寬和深度取決於使用的電阻器類型，標準線寬為1.9 µm，線深為0.15 µm。DAINIPPON SPW-813A配備了最新的自動裝卸設備，每小時最多可處理60個晶圓。這提供了較高的吞吐量蝕刻能力,使其非常適合高批量生產要求。SP-W813-A使用專門設計的氣體輸送系統在蝕刻過程中提供穩定、均勻的反應性氣體流動。該室采用專有的多區行星加熱器設計，具有獨特的加熱器單元，溫度和壓力水平可調。安裝在腔室上的HEPA型過濾器可確保整個過程的清潔度。這個先進的蝕刻器是自成一體的集成真空系統，可以處理高達10-6 Torr（760毫巴）的真空。該加工室采用全自動的二十四步循環時間，對所有材料進行可靠和可重復的蝕刻。SPW-813A是醫療器械行業、消費電子和半導體應用蝕刻應用的絕佳選擇。幹條蝕刻工藝結合高通量蝕刻能力，為創建復雜、微小的三維結構提供了可靠、高效的方法。