二手 DNS / DAINIPPON SPW-813A #9256956 待售

DNS/DAINIPPON SPW-813A是一種用於半導體制造的蝕刻器/灰度設備。這種裝置在用於蝕刻、各向異性蝕刻、等離子體蝕刻、反應性離子蝕刻和等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）方面提供了優異的效果。它設計用於四個腔室的操作，使用戶能夠快速高效地切換蝕刻過程。DNS SP-W813-A配備了多氣體引入室，允許用戶根據蝕刻材料選擇合適的工藝氣體。腔室配有四個質量流量控制器和兩個加熱元件，使用戶可以調節氣體流量和溫度。此外，DAINIPPON SPW-813-A還有一個計算機控制的泵，為各種蝕刻工藝提供精確的定時和壓力。DNS/DAINIPPON SPW-813-A也是各向異性蝕刻的高效系統，具有集成的雙石英共振頻率控制器，用於對蝕刻過程的高精度控制。該單元還允許通過計算機控制的電源精確控制蝕刻電源。DAINIPPON SP-W813-A獨特的設計包括一個隔板，將上下石英晶板隔開，允許均勻蝕刻，侵蝕最小。DNS/DAINIPPON SP-W813-A還配備了五種不同的等離子體蝕刻工藝,非常適合同時需要高選擇性和高通量的織物。這些過程為離子植入等離子體蝕刻、純電離幹蝕刻、電離氣體混合物幹蝕刻、改性穩定氣體混合物濕蝕刻和15伏等離子體蝕刻。DAINIPPON SPW-813A還具有計算機控制的相位蝕刻，控制電磁場的相位，以提高工藝效率和均勻性。最後，DNS SPW-813-A對等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）工藝具有很強的適應性。這臺最先進的機器配備了集成的射頻和直流電源，使用戶能夠在兩者之間快速切換並定制沈積過程。此外，DNS SPW-813A與各種氣體兼容，可以精確選擇沈積氣體比和壓力。DNS SP-813A是一種用於半導體制造的頂級蝕刻器/灰度工具，能夠進行精密蝕刻、各向異性蝕刻、等離子體蝕刻、反應性離子蝕刻和PECVD工藝。其可調、多氣體引入室、集成雙石英共振頻率控制器和五種等離子體蝕刻工藝的選擇，使其成為一種通用、高效的蝕刻工具。此外，它的計算機控制電源和沈積氣體的選擇為用戶提供了對沈積過程的大量控制。