二手 DNS TE-401G #293815303 待售

DNS TE-401G是半導體工業中用於精確模式轉移過程的一種高度先進的蝕刻/灰度設備。該工具是制造集成電路和其它微電子器件的關鍵部件。TE-401G模型由半導體制造工藝設備的領先供應商DNS制造。DNS TE-401G利用先進的等離子體處理技術，在基板上蝕刻或灰分薄膜，具有高精度和重復性。它設計用於處理廣泛的基材，包括矽片、玻璃、陶瓷和其他半導體制造常用的材料。該設備配備了一系列特性和功能,非常適合大批量生產環境。TE-401G是一種幹蝕刻系統，這意味著它使用等離子體從基材中去除材料，而不是濕法化學過程。幹蝕刻比濕蝕刻有幾個優點，包括更高的蝕刻速率，更好地控制蝕刻輪廓，減少化學廢物。DNS TE-401G可以執行多種蝕刻過程，包括各向同性和各向異性蝕刻，以及用於去除光致抗蝕劑的等離子體灰化過程。TE-401G具有高度可定制的工藝室,可配置各種氣體輸送系統、射頻電源和溫度控制單元,以適應不同的蝕刻過程。該單元配備了多個氣體入口，以引入不同的工藝氣體，例如用於矽蝕刻的氟基化學或用於光致抗蝕劑灰化的氧基化學。氣流控制、射頻功率調制和溫度調節相結合，可以對蝕刻速率、選擇性和側壁輪廓進行精確調整。DNS TE-401G的主要特點之一是其先進的端點檢測機，它實時監控蝕刻過程的進展。端點檢測對於確保蝕刻停止在所需深度、防止基板過度蝕刻或不足蝕刻至關重要。TE-401G利用光發射光譜（OES）或其他技術來檢測等離子體發射光譜中指示蝕刻過程完成的變化。DNS TE-401G還配備了負載鎖定工具,該工具允許自動裝載和卸載基板,從而最大程度地減少蝕刻運行之間的停機時間。該資產專為高吞吐量和可靠性而設計,適合全天候生產環境。此外,TE-401G還集成了高級流程控制軟件,支持配方管理、數據記錄和遠程監視功能。綜上所述,DNS TE-401G是一種高度先進的蝕刻器/asher工具,可為半導體制造提供精確可靠的處理功能。它結合了先進的等離子體技術、可定制的工藝室、端點檢測模型和自動化功能，使其成為廣泛蝕刻應用的通用工具。TE-401G具有較高的吞吐量和過程控制能力，是實現半導體器件制造高產率和質量的重要工具。