二手 DRYTEK 384T #9083713 待售

DRYTEK 384T是一種蝕刻器/asher，設計用於最苛刻的微電子和薄膜材料加工應用。它是為反應性離子蝕刻和等離子體輔助蝕刻和灰化程序而設計的，用於包括半導體、生物醫學、制藥和通信在內的廣泛行業。384T有一個24 x 24英寸（610 x 610毫米）的腔室,最大晶圓尺寸為4英寸（100毫米）。真空室采用優質不銹鋼制成，並配有超低O2/N2氣體控制系統。該系統允許通過觸摸屏面板精確控制流程配方。DRYTEK 384T可達到從室溫到1000&deg； C的工藝溫度,基本壓力為0.5 mtorr。它還具有可調的高頻射頻電源，用於等離子體蝕刻和灰化。384T有各種各樣的附件可用於自定義應用程序設置。這些包括快門系統、運輸系統和反應級推車。運輸系統提供了完整的晶圓運輸解決方案，包括樣品準備和操作與可互換的機械臂。反應級推車允許使用熱電偶、溫度控制器和各種其他加熱元件定制系統。DRYTEK 384T 蝕刻器/asher是為可靠性和易用性而設計的,具有內置的安全和診斷系統。這些系統提供實時流程監控和反饋,以優化流程產量。集成離子束源允許UV增強蝕刻和灰化，以實現高選擇性和低殘留損傷。此外，晶圓微調器能夠達到高達50,000 rpm的速度，允許精確的均勻性和均勻性控制。384T適用於廣泛的蝕刻和灰化應用，包括高密度等離子體蝕刻、高速率灰化、選擇性蝕刻、反應性離子蝕刻（RIE）和晶片抗蝕工藝。其堅固的設計，加上可靠的控制和清潔特性，提供了出色的過程穩定性和可重復性。此外,它還具有長期的成本效益和維護優勢。DRYTEK 384T專為最復雜的材料加工要求而設計,使其成為任何蝕刻或灰化應用的理想解決方案。