二手 DSS Gemini 820 #9156790 待售

DSS Gemini 820是一款為半導體工業中的幹蝕刻應用而設計的蝕刻器/asher。它提供了廣泛的蝕刻功能,使其成為工藝開發和生產應用程序的理想選擇。雙子座820具有多種工藝室，包括：三個端點反應室、三個入射照明室、兩個裂縫室、兩個微波端點傳感器和兩個氣體死體積。它還具有用於均勻蝕刻的超聲波混合室和用於電阻塗層的BioSpray室。DSS Gemini 820通過其軟件機制提供了更高的流程準確性和統一性。它旨在快速、準確地實現所需的模式。這些軟件機制還能夠以± 7%的精度和1.5納秒的精度檢測蝕刻的端點。此外，DSS Gemini 830還具有低氧水平監測器，用於實時監測工藝室內的環境條件。此功能確保了蝕刻質量的維護,並消除了手動環境監控的需要。DSS Gemini 830提供了最大限度的過程控制和控制過程流體如Argon、XeF2、CHF3和CF4。它還具有兩個獨立的壓電閥，用於仔細控制腔室壓力。該過程可以手動啟動,也可以使用預設配方參數啟動。獨立的等離子體腔室控制器允許對每個腔室進行獨立控制。DSS Gemini 830具有多種安全功能,包括在檢測到緊急情況時自動關閉腔室。它還采用模塊化設計,便於安裝和維護。其高級PC軟件提供易於使用的機器控制、配置、監控和數據記錄。總體而言,DSS Gemini 830為蝕刻工藝提供了許多優勢,從提高精度和一致性到改進過程控制和安全功能。它是工藝開發和生產應用的理想選擇，並提供了一套全面的幹蝕刻功能。