二手 E&R Plasmax 600A #9217455 待售

E&R Plasmax 600A Etcher/Asher是一種全自動蝕刻和灰化設備,用於各種具有挑戰性的應用。它具有等離子體蝕刻、濕蝕刻和幹灰泥/剝離的能力，可以用於廣泛的蝕刻和灰泥操作。此蝕刻/灰分系統允許用戶輕松編程和調整蝕刻和灰分參數,以實現高效且可重復的過程控制。Plasmax 600A采用模塊化設計,內置射頻發生器和緊湊的匹配網絡,可滿足各種頻率（最高950 MHz）的要求。這臺機組配備了一臺用於等離子產生的內置高壓發電機和一臺發射計，用於測量蝕刻/灰化操作過程中的等離子發射水平。E&R Plasmax 600A還具有集成的安全機器，具有聯鎖和報警功能，以防止操作過程中發生事故。此蝕刻器/Asher提供了經過優化的工藝室,旨在改進蝕刻、灰化和幹式剝離性能。它具有石英窗和快門、真空泵、數字過程壓力控制工具以及用於監測蝕刻/灰化性能的真空計。Plasmax 600A還具有氮氣和氧氣輸入端口以及集成的質量流控制器,以確保精確、穩定的蝕刻和微加工過程。蝕刻器/asher還擁有種類繁多的配件，以定制其操作，滿足各種要求。這包括靜電卡盤、用於加工精細材料的特殊級和板、用於控制工藝區域的光學蒙版以及用於保護昂貴元件和基板的防汙染（APC）資產。此外,還可以升級E&R Plasmax 600A,為更專業的應用程序添加額外功能。例如，模型可以裝有電容耦合等離子體（CCP）顯示器、用於高效散熱的多級不銹鋼平臺或用於改善等離子體均勻性的惰性氣體發生器。總體而言,Plasmax 600A是一種高度可靠和精確的蝕刻和灰化設備,可用於各種具有挑戰性的應用。它旨在提供最大的過程靈活性和可重復性,從而實現卓越的過程控制和改進的性能。