二手 E&R Plasmax-602A #9157568 待售

E&R Plasmax-602A是一種高度可靠和精確的蝕刻器/灰化器，旨在滿足現代生產線制造的需要。它具有創新的「開放式體系結構」,帶有16個位置的旋轉木馬,最多可容納16個晶圓-所有這些都可以與多達8個晶圓層對齊。這樣可以確保即使是多達16個晶片也可以同時以高精度蝕刻或粉刷。Plasmax-602A具有剛性但靈活的設計,可確保高精度。其集成電源設備具有負載線補償、快速響應的高頻電源,以及輸出高達600 V的直流電源。這使得晶片能夠精確蝕刻或粉刷，同時保持高度的均勻性和可重復性。E&R Plasmax-602A還具有出色的安全特性。其真空II級安全級別確保系統免受外部汙染。此外，它還包括一個可選的安全微開關，以及一個介電膜安裝選項，以進一步提高安全性和降低風險。Plasmax-602A還能夠處理各種蝕刻和灰化材料,並為介質裝卸提供易於訪問的側端端口。它的過程控制效率很高,支持PC和PLC控制系統,以及全面的數據采集。其直觀的用戶界面允許簡單的流程開發以及關鍵的流程監控功能,以確保最佳的單元性能。最後,E&R Plasmax-602A配備了高級傳感器陣列、模塊化工藝套件和快速釋放部件盒等功能。這樣可以確保機器具有很高的適應性,並且能夠滿足各種應用程序的獨特蝕刻和灰化需求。此外,其全面的服務包可確保在未來幾年內保持最高性能運行。