二手 E&R Plasmax 602A #9217454 待售

E&R Plasmax 602A是一種用於半導體加工業中薄膜材料沈積和蝕刻的蝕刻器和灰化器。這種工業級工具利用同軸等離子體源實現了高質量、可重復的結果。該設備采用基於電感耦合、同軸雙波導等離子體源的電子回旋共振（ECR）技術，在控制功率需求以滿足產品需求方面提供了靈活性。此外,ECR屏蔽對相鄰工具造成的電氣幹擾最小,同時具有出色的溫度控制和效率,從而實現可靠的工藝結果。基於ECR源的系統允許等離子體輔助去薄功能去除底物表面的抗性殘留物。該工具還采用了「Cr-Blocker Plate」設計，防止含有鉻的顆粒在工藝室內釋放，從而不會發生額外的環境汙染。化學氧化物的去除也可以用這種工具來實現，根據需要去除的氧化物類型使用各種化學物質。對於蝕刻速率控制，Plasmax 602A配備了射頻掃描和軸向偏磁控管技術的組合，產生了廣泛的精確功率水平，用於蝕刻不同的材料。此外,集成的閉環反饋控制可確保過程的準確性和可重復性。該裝置能夠處理200毫米晶圓，將來能夠將加工擴展到300毫米晶圓。該工具還具有雙風扇氣泡和熱不對稱淋浴控制的過程氣體輸送機,可確保均勻的氣流,以及可靠的氣體壓力和溫度穩定性,從而實現更均勻的蝕刻過程。E&R Plasmax 602A適用於高精度、高產產品的各種氧化物蝕刻和去磨工藝。該工具以其可靠性、準確性和成本效益而著稱，有助於在半導體加工業中實現最大產量。