二手 E&R Plasmax 800C #293748025 待售

E&R Plasmax 800C是E&R為多種材料的等離子體增強幹蝕刻而設計的蝕刻器/灰化器。Plasmax 800C是一款用於薄膜沈積和復合半導體器件制造的強大工具,旨在為用戶提供最大精度和可重復性,以確保零件質量一致。該設備具有堅固的底座設計,可實現可靠的長期運行,包括減振、平衡控制以及易於維護和維修。用戶界面全面易用，使用戶能夠快速啟動運行，快速、輕松地創建復雜的蝕刻模式。E&R Plasmax 800C的核心是集成的高壓等離子體源，其設計可提供卓越的蝕刻性能。等離子體源在廣泛的壓力範圍內運行，具有可調參數，可以精確控制工藝氣體的化學、溫度和種類分布。在較高的壓力下操作時，系統最大化蝕刻選擇性和選擇性控制，而在較低的壓力下則可用於許多材料的批量加工。Plasmax 800C完全自動化,使用戶能夠編程和保存特定蝕刻模式和過程的配方。全自動源和過程控制功能允許更高的流程一致性和準確性,並允許客戶創建獨特的自定義流程。激光高度計量和防護性硬化塗層等各種可選功能進一步增強了設備的功能,使用戶能夠在多種材料中實現廣泛的工藝技術。此外,E&R Plasmax 800C附帶了一系列旨在簡化機器操作的直觀軟件工具,包括基於配置文件的配方、單步晶圓模式識別以及編程和存儲配方的能力。Plasmax 800C是一款功能強大但易於使用的蝕刻器/asher,可提供業界領先的性能和靈活性。它提供了卓越的蝕刻速率、卓越的選擇性控制以及可靠、可重復的結果,並可以幫助客戶快速輕松地從手動流程過渡到高效的自動化流程。