二手 E&R Plasmax 800C #9364455 待售

E&R Plasmax 800C是一款Etcher/Asher，設計用於亞微米器件幾何形狀的等離子體灰化、蝕刻、剝離和修剪蝕刻。該800C能夠處理氧化膜和非氧化膜，具有亞微米大小的特征，並且可以加工直徑不超過400毫米和厚度不超過30毫米的基板。蝕刻器/asher裝有一臺等離子體發電機和一臺快速、自動化的裝卸設備。它與特殊的真空密封設計兼容，創造出10-5-10-7 Torr的真空（Torr是壓力的單位）。該800C設計用於在低溫（最高150 °C）下蝕刻,並在核心系統周圍進行隔熱,以抵消熱沖擊的影響。Plasmax 800C的工藝室可以配置為氧化物或非氧化物材料。它提供多種蝕刻功能，從冷氧等離子體蝕刻到反應性離子蝕刻。該腔室還包括一個四級淋浴臺設計，它在大型基板上提供更均勻的蝕刻速率。此外,蝕刻器/Asher還配備了帶有石英透鏡的玻璃陶瓷觀察窗,因此用戶可以監控蝕刻過程,並相應調整參數。E&R Plasmax 800C包括先進的可配置等離子體工藝,能夠控制氣流,以及其他參數,包括壓力、溫度和蝕刻時間。蝕刻器/asher還提供自動過程控制,允許用戶設置所需的參數並接收有關設備性能的自動反饋,同時最大限度地減少處理時間。該腔室設計方便維護，可配備維護套件，便於維護和故障排除。Plasmax 800C是一種可靠、高效的蝕刻/燒結機，使亞微米器件幾何形狀成為微風。它具有快速、自動化的負載/卸載工具和先進的過程控制功能,使其成為各種過程的理想選擇,從蝕刻到等離子體灰燼。其低溫蝕刻和高度可配置的工藝保證了可靠的性能和高效的效果。