二手 ESC ELAS #9156747 待售

ID: 9156747
晶圓大小: 4"-8"
PVD System, 4"-8" Sputter down cassette to cassette Standard BROOKS Robot system CTI Cryo pump main chamber, 10" CTI Cryo load lock, 8" Turbo pump / Rotary pump ADVANCED ENERGY Pinnacle DC MAGNETRON Power supply ADVANCED ENERGY RFPP RF20S Power supply Techware II Ultra (3) Targets plus RF etch station: 20.25" x 4.75" Dual level load lock Bulkhead mounting maximum substrate size (Through-wall): Large area substrates: Up to 16" x 16" MRC 943 PVD System Batch size: (4) Wafers, 8" (6) Wafers, 6".
ESC ELAS(Electrostatic-Lithograph-Asher的縮寫)是由Esterline Corporation開發的先進蝕刻和灰化機。ELAS旨在為原型制作和大批量生產應用提供可靠和可重復的結果。ESC ELAS是一種模塊化蝕刻和灰化設備,由三個連接單元組成:iMix、iControl和iX-max。iMix提供了蝕刻和灰化所必需的化學,而iControl則是用於蝕刻和灰化過程的控制器,允許對過程進行精確的控制,以及數據采集。iX-max是一種高精度x軸運動控制系統,可幫助自動執行蝕刻過程。ELAS使用靜電光刻技術運作。這種類型的光刻利用蝕刻溶液,當暴露於先前有圖樣的基材時,去除不必要的材料,只留下蝕刻在表面的所需特征。其結果是比傳統濕蝕刻工藝能實現更高精度的蝕刻。ESC ELAS能夠蝕刻和灰化多種材料,包括銅和其他金屬,以及電介質和半導體。ELAS為微米級特性提供了出色的分辨率和模式,具體取決於所使用的底物和化學成分。它也是一個高度靈活的機器,允許一系列的蝕刻和ashing過程,可以根據精確的用戶需求進行定制。ESC ELAS單元包括一個集成的計量機,在蝕刻和灰化之前、期間和之後提供對基板的檢查和監控。集成計量模塊允許重復快速掃描晶圓以進行非接觸和無損測量。此外,ELAS設計為用戶友好,允許操作員使用直觀的圖形界面從觸摸屏或遠程計算機操作流程設置。總體而言,ESC ELAS是一種可靠而有效的蝕刻/灰化機,旨在提供高精度和精確的結果。它是一種多用途的機器,配備了先進的技術和集成的計量,非常適合原型和大批量的生產應用。
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