二手 EUROPLASMA CD1000 Nanofics #9311808 待售

EUROPLASMA CD1000 Nanofics是專門為半導體微機械應用而設計的幹蝕刻和灰化系統。它將高精度空氣和反應性氣體等離子體加工結合在一個單元中，實現了一個纖細、均勻的蝕刻輪廓和嚴密的特征控制。CD1000 Nanofics配備了雙級質量流控制器，可實現精確、自動化的蝕刻和灰化速率以及壓力調節。這提供了改進的過程重復性和更精確的蝕刻/灰輪廓。它還配備了低壓射頻發電機，使系統能夠在較低的壓力下達到更高的等離子體密度和離子能。這使它能夠在非常低的溫度下蝕刻材料，以最大程度地減少熱損傷並實現更均勻的蝕刻結果。EUROPLASMA CD1000 Nanofics是一個開源平臺，允許用戶定制和編程自己的等離子體過程。它專為多種材料而設計，包括Si、SiO2、SiN、SiC、GaN和有機電介質。它可以蝕刻或灰分到10nm或以下的厚度,特征尺寸小至50nm。它能夠在大氣和降低的壓力下進行蝕刻和灰化，並且可以達到-60°C以下的溫度。它還具有用於100納米以下特征蝕刻的自動原位基板支架。支架減少了微載荷，並允許更多的重復和準確的特征。總體而言，CD1000 Nanofics是一種先進的蝕刻和灰化系統，設計用於各種材料的快速、精確微加工。其低溫、低壓等離子體技術、低熱損傷、重復性的結合，徹底改變了半導體蝕刻和灰化的應用。