二手 EUROPLASMA CD300 PLC #9409746 待售

EUROPLASMA CD300 PLC是為半導體、光電、MEMS和太陽能電池行業的先進等離子體處理應用而設計的等離子體蝕刻器/灰光機設備。該系統具有用於優化工藝參數的直觀觸摸屏界面、改進的安全特性以及用於各類基板自動裝卸的專利單槽單元。CD300 PLC有一個大的等離子體腔（915毫米x 690毫米x 795毫米），帶有兩個側面端口，可用於樣品傳輸和遠程等離子體監測。EUROPLASMA CD300 PLC是一種高功率、射頻（RF）驅動的等離子體蝕刻/灰化機,可處理直徑達300 mm的基板。該工具采用高效、低溫的化學反應，允許精確和可重復的化學蝕刻和灰化。工藝壓力和射頻功率可動態調節,可針對特定應用進行調整。CD300 PLC還配備了一個自動化的質量控制資產來監控每個等離子體處理過程。包括基材溫度、工藝時間、等離子體密度、化學成分等工藝參數可以實時監控，並在日誌文件中監控以備將來參考。該模型還包括一個專有的Automated Sample Loader,它可以與機器人運輸設備集成,以促進過程的完全自動化。蝕刻/灰化工藝是在完全密封的環境中進行的，所有工藝氣體都受到監測，並保持最佳濃度。除了高效的等離子體蝕刻和灰化，EUROPLASMA CD300 PLC可以用於等離子體表面清潔、鈍化和沈積過程。安全特征包括防雷和防護罩的全區域互鎖，以防止過程汙染和人員危險。此外，該系統還配備了高效的殘余氣體分析單元和過程監測機器，可用於查明過程波動。總體而言，CD300 PLC是一種強大的等離子體蝕刻/灰化工具，為先進的等離子體處理過程提供精確的控制和可重復性。大腔室大小、自動化樣品加載、安全特性和遠程監控，使其成為各種等離子體處理的理想選擇。