二手 EUROPLASMA CD400 #9105430 待售

EUROPLASMA CD400是A系列等離子蝕刻器/Asher,非常適合廣泛的工藝應用。CD400成本低,吞吐量高,是實驗室、大學研發中心、半導體和MEMS制造商尋求卓越性能和精確度的絕佳選擇。EUROPLASMA CD400利用先進的耦合劑/冷卻劑設備在真空下清除樣品表面的汙染物。這個系統使用了一種專利的、類似陶瓷的、等離子體反射膜來防止粒子進入反應室。該工藝應用在廣泛的溫度範圍內，確保了統一的加工和精確的結果。CD400的反應室裝有溫度無關的E槍陣列，使亞微米逐層蝕刻和灰化金屬、氧化物、氮化物和聚合物。E-gun陣列提供了可調的停留時間，允許蝕刻工藝的優化以滿足特定的性能要求。可調的停留時間還使用戶能夠為不同的材料選擇不同的工藝配方，簡化工藝優化過程。EUROPLASMA CD400能夠提供尺寸小於0.1 µm的特征,具體取決於蝕刻參數。亞微米特征是通過不同材料的蝕刻速度和灰度速度的差異來實現的。CD400還提供高吞吐量，因為蝕刻時間可以減少。此外,EUROPLASMA CD400能夠提供廣泛的流程參數,使用戶能夠優化流程以獲得最佳性能。CD400也是同類產品中最節能的設備之一，因為加熱的基板杯是用來交換能量的。該裝置還具有主動流量穩定功能，可提供穩定的過程氣體供應，而無需壓力控制。這降低了能耗，也確保了高水平的可重復性。為了提高安全性，EUROPLASMA CD400包括使用故障安全限值傳感器和自動關閉的安全監控器。安全監控器不斷監控過程參數，確保安全和遵守當地法規。CD400是各種蝕刻和灰化工藝應用的絕佳選擇。它結合了先進的技術、用戶友好的特性和高性能，使其成為任何研發實驗室或生產線的理想機器。