二手 FEMTO COGRADE RF300 #9066064 待售

FEMTO COGRADE RF300是專門設計用於實驗室的蝕刻和灰化機。它非常適合亞微米薄膜的沈積和蝕刻、高精度微機械加工以及其他形式的材料加工等應用。RF300裝有完全可編程的射頻發生器和獨立的蝕刻室。控制面板用戶友好,為用戶提供了一個直觀而強大的界面,用於創建蝕刻和灰化循環。發電機的頻率從5 kHz到2 MHz，可以提供一個單波或兩個射頻信號的組合，最多四個信道。它還具有低磁控管功率、低內部電感和良好的場均勻性.RF300的蝕刻室通過紅外燈加熱。溫度可由0°C調整至300 °C。這使得它適合在最高溫度下加工材料。腔室還設有光學檢查端口，使用戶能夠觀察蝕刻過程。COGRADE RF300還支持其他進程以實現廣泛的應用程序。這包括濕蝕刻、濕清潔、鈍化和陽極蝕刻。為了利用所有這些功能，它還配備了一個原位氣體輸送系統，能夠在循環期間精確控制氣體。FEMTO COGRADE RF300還配備了一個專用真空控制器,可持續監測系統壓力。這消除了手動校準的需要，並提供準確的結果。此外，蝕刻器還能夠與其他儀器結合使用，如光學顯微鏡，這對於精確分析蝕刻表面結果很有用。總體而言,COGRADE RF300為各種應用程序提供了強大的控制、精度和靈活性。憑借其直觀的用戶界面，它非常容易使用且高度可靠。這使其成為任何實驗室環境的理想工具。