二手 FOI RYDEEN 10000 #293640226 待售
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ID: 293640226
Descum system
(2) Load ports
(2) Process chambers
Transfer chamber
PMC Rack
Power rack
SMC Chiller
Gases:
O2
N2
H2
CF4.
FOI RYDEEN 10000是一種最先進的蝕刻器/灰化器,非常適合從薄膜熱處理到介電材料激光燒蝕等多種應用。這個先進的蝕刻器/asher能夠處理各種材料，如金屬、聚合物、玻璃、陶瓷和二氧化矽，提供對蝕刻過程的終極控制。FOI RYDEEN-10000采用9 「x 9」石英壓板設計，非常適合小規模加工。該裝置配有300W射頻發生器，確保每個過程都能精確和可重復地進行。發電機可調，使用戶實現了完美的蝕刻速率和重復性。此外,Etch Module Controller （EMC）允許用戶控制蝕刻速率並確定流程。RYDEEN 10000還配備了真空環境，非常適合控制蝕刻工藝。這種真空系統有助於減少蝕刻副產物，防止汙染和保護正在加工的材料不被氧化。此外，抄寫員模塊確保在蝕刻之前抄寫員線條的精確位置。該蝕刻器還包括一個用於精確控制工藝氣體的氣體入口系統，以及用於連續溫度和壓力監測的傳感器。此外,該設備還配備了冗余安全功能和直觀的用戶界面。RYDEEN-10000提供清潔、可靠的蝕刻和高重復性,使其成為各種蝕刻應用的完美設備。它提供了對蝕刻工藝的精確控制，溫度和壓力可以調整以滿足任何工藝要求。該裝置還易於設置和操作，為任何蝕刻工藝提供了可靠的解決方案。
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