二手 GASONICS 9102 #9231046 待售

ID: 9231046
Plasma asher.
GASONICS 9102是一款堅固、經濟高效且用戶友好的蝕刻器/asher設備。該系統的設計重點是為用戶提供高效可靠的蝕刻和灰化解決方案,並提供最高級別的性能。9102具有高級、易於使用的控制單元和彩色圖形用戶界面,以及多個程序內存。機器提供對所有主要蝕刻和灰化參數的精確控制,包括蝕刻溫度、壓力和持續時間。它還能夠存儲用戶定義的配方,這些配方允許簡單、一鍵式操作和減少停機時間。該工具具有多種安全功能,例如自動預防性維護和過溫保護。采用不銹鋼和碳化矽制成等離子體灰燼室,具有優異的蝕刻性能和均勻性。GASONICS 9102的占地面積很小,可以輕松安裝在實驗室的長凳上。9102具有多種可選功能,可根據用戶的需要對其進行定制。其中包括殘留物分析和生產跟蹤等高級診斷,以及可以安裝在資產上的多個燒蝕源。GASONICS 9102除了具有灰度和蝕刻能力外,還可以進行基於臭氧的表面清潔作業。這是通過一個集成的臭氧發生器模塊實現的,該模塊可以在蝕刻室內產生可控濃度的臭氧氣體。9102是一種可靠、高效的asher/etcher模型,旨在滿足最苛刻的應用。其先進的功能、易用性和廣泛的選項,使其成為希望以最少的維護實現高質量結果的用戶的理想選擇。
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