二手 GASONICS Aura 1000 #293690392 待售
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ID: 293690392
Ashers
Wiring schematics
O-Rings
Spare parts:
Serial cable
Optical sensor
Various screws
Brackets
(15) Halogen lamps
(3) Glass discs
A06-010-01/H Plasma tube
HITACHI 2M121A Magnetron
MKS 152E-P0 Valve controller
(2) Notebooks with process notes
(2) Binders with printed manuals
Manual:
(3) Services
Training
Operator
Maintenance.
GASONICS Aura 1000是為最苛刻的工藝而設計的精密蝕刻器和asher，特點從100 mm晶圓加工到400 mm晶圓加工。這種精密的蝕刻器和灰化器允許高性能的等離子體蝕刻和灰化過程結果與最小的樣品損壞。該系統具有兩個源腔室,允許用戶配置最多三個腔室和一個可選的ashing腔室的工具。每個源室都有兩個獨立的氣源，有各種備選方案可用於滿足確切的工藝要求。系統通過直觀的WIN TESS軟件專用控制器進行控制，以確保精確的過程控制。對基板偏差和級溫度的可靠、精確的溫度控制始終保持不變，提供一致和可重復的結果。該系統具有先進的工藝控制能力,通過對機載氣源的精確校準,可以控制蝕刻偏差、真空水平、流量、護套流量和壓力。Aura 1000還包括一個包含可固定膜單元（RMA）的可選腔室,可提高蝕刻和灰化過程中晶圓的均勻性。獲得專利的RMA技術在某些應用中提供了更高的產量。GASONICS Aura 1000旨在通過實時監控和顯示有用的過程參數，如氣壓、流量、溫度和真空水平，提供容錯能力。這允許用戶以最小的損壞風險提高產量並實現一致的性能。機器直觀的操作員顯示面板提供識別、理解和解決任何問題所需的一覽表信息。Aura 1000旨在減少循環時間,同時提供卓越的均勻性和蝕刻性能。隨著GASONICS無與倫比的支持和世界領先的等離子體蝕刻和灰化過程，用戶總是保證快速周轉。
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