二手 GASONICS Aura 1000 #293746361 待售

GASONICS/NOVELLUS A 1000是一種蝕刻/asher工具，設計用於提供高級蝕刻解決方案，用於半導體晶圓的制造過程。盡管其占地面積低且價格誘人,但該工具擁有廣泛的功能和優勢。GASONICS A 1000 Model設計為提供最大半導體晶圓吞吐量的全程蝕刻控制。該工藝室采用優質不銹鋼制造，采用集成的低溫耐聚合物塗層，增強了防腐蝕性能，有助於保持室內清潔。該系統的設計采用了廣泛的布線和計量技術，允許使用最深、最精確的蝕刻工藝。NOVELLUS A1000 Model包括高級PRISM（可編程和遠程接口智能模塊）控制器,可提高蝕刻過程自動化和操作員安全性。PRISM模塊允許操作員輕松配置和控制遠程位置的蝕刻進程。GASONICS A1000 Model還具有機器視覺系統,可在蝕刻過程中準確檢測晶片上的關鍵特征大小和位置。A1000型號每小時最多可處理40個晶圓,能夠蝕刻50微米以下的不同尺寸。該工具還具有極好的均勻性和可重復性，並具有最小的腔室間變化。為改善工藝優化，進一步減少腔室間的變化，A 1000 Model可以配備氟氣、氙氣、氧氣等多種工藝氣體。其化學處理系統設計用於安全轉移反應性化學品，並配有彈性不銹鋼蒸發冷凝器，以保持工藝氣體化學。GASONICS/NOVELLUS A1000模型可確保制造過程更快速、更高效地運行,並降低成本,同時提供卓越的效果。NOVELLUS A 1000具有卓越的蝕刻工藝解決方案、降低的零件成本和優化的工作流功能,是任何先進半導體晶圓制造工藝中必不可少的蝕刻器/灰度工具。