二手 GASONICS Aura 1000 #293764333 待售

GASONICS/NOVELLUS A 1000是一種高級蝕刻器/asher,主要用於半導體生產。它是一個功能齊全的蝕刻器/asher,包括前端處理功能和後處理反角清洗技術。GASONICS A 1000具有10區先進的等離子體源，提供均勻的過度噴霧去除，最大限度地減少顆粒汙染和提高過程重復性。機器的高級光掩碼操作允許對各種光掩碼進行無缺陷處理,包括BEOL和BEOL/後端 （ULE和BAL）光掩碼。蝕刻器可以加工直徑最大200毫米的晶片，晶片尺寸從200毫米到6英寸不等。其獨特的蝕刻窗口可以根據個別參數進行編程和優化，而不會影響機器的性能。NOVELLUS A1000可以加工各種電介質和半導體材料，其內部閘級清潔技術確保低汙染工藝結果。先進的排氣設備還確保有效和長期的空氣過濾，同時也排除劃痕。為了管理蝕刻配置文件,該機器附帶了掃描選擇技術,該技術允許對不同的晶片和基板進行分析以進行測試。它還提供3D曲面陣列,以更精確地控制蝕刻特征的輪廓。此外，它還具有一個溫度控制系統，該系統允許對基材進行溫度控制的蝕刻，以及一個用於監測晶片形狀和輪廓的清潔診斷單元，從而實現實時過程控制。總體而言,A 1000是一款高級蝕刻器/asher,旨在滿足最高級別的工業要求。它的許多特點，從它的高級工藝能力到它的高級清潔診斷機器，使它成為任何蝕刻或灰化應用的絕佳選擇。