二手 GASONICS Aura 1000 #293810521 待售

GASONICS Aura 1000
ID: 293810521
Asher.
GASONICS/NOVELLUS A 1000是一種蝕刻器或asher,提供高效、精確的蝕刻和ashing結果。這款先進的蝕刻器/asher具有許多獨特的特點,使其成為工業和科學應用的絕佳選擇。GASONICS A 1000由自動級和噴嘴設備、自動問題解決器和堅固的處理室組成。全自動級系統允許基板的精確移動,而噴嘴單元提供高達7 torr的過程壓力和廣泛的過程氣體。此蝕刻器/asher還具有自動問題解決程序,用於識別和解決流程中的任何問題。堅固的加工室提供了一個穩定的工藝環境,在各種材料和工藝條件下都有可重復的結果。NOVELLUS A1000利用先進的多步等離子體蝕刻和灰化工藝來獲得最高的精度和精確度。等離子體蝕刻過程使用受控電壓和功率來創建圖樣化的金屬化結構。Ashing process use a series of pulse and timed pulses to remove target material from the基材.這些過程的結合可以在各種材料上獲得高度精確和可重復的結果。NOVELLUS A 1000能夠處理多種基材,包括矽、金屬合金和玻璃。這種蝕刻器/asher也被設計為與各種化學品兼容,包括酸和堿。這樣就可以根據特定項目的需要量身定制流程。1000與多種傳感器技術兼容,可以配置附加功能,如真空泵和安全功能。總體而言,GASONICS/NOVELLUS A1000是一款先進的蝕刻器/asher,可提供高效、精確的蝕刻和灰化結果。它結合了堅固的加工室與高度先進的自動化級和噴嘴機、自動問題解決器以及廣泛的兼容材料和化學品。GASONICS A1000是各種基材和材料精密蝕刻和灰化的絕佳選擇。
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