二手 GASONICS Aura 1000 #293811532 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一類用於半導體集成電路（IC）制造的蝕刻/灰燼設備。該Etcher/Asher系統設計用於進行精確等離子體蝕刻和化學氣相沈積（CVD）處理。它對大小型晶片上的蝕刻和沈積材料具有極好的精度。該單元有兩個獨立的源室和一個鎖載室來處理各種材料沈積。它具有高精度的XYZ級，為蝕刻和CVD工藝提供精確的線性和角度運動。它還有一個附加的旋轉驅動器，可以旋轉晶片高達300度，方便和精確的對準。等離子體蝕刻器/Asher有一個反應性離子蝕刻（RIE）室，其真空範圍為0.005-25 torr，壓力範圍為5-1000 mTorr。它擁有強大的射頻電源支持高密度等離子體蝕刻，功率範圍高達75千瓦。沈積速率可調，每分鐘0.001-1.8米μ。GASONICS Aura 1000具有先進的等離子體控制特性，如先進的等離子體成形、階梯蝕刻和狹縫蝕刻技術。它還具有先進的晶片處理和安全功能，例如當晶片未正確固定時警報機制來提醒機器，以及射頻感應來降低電弧和火災的風險。NOVELLUS Aura 1000 Etcher/Asher是用於IC制造的高度可靠的工具,因為它具有高精度、靈活性和可重復性。資產可以通過圖形用戶界面（GUI）進行控制，允許操作員直觀地控制流程參數，實時監控其進度。該型號兼容各種先進技術，如內存和邏輯設備、MEM和顯示器。