二手 GASONICS Aura 1000 #293814135 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款耐用且先進的蝕刻器或asher。該設備的設計目的是在各種基板上實現多層地形圖案。被蝕刻的表面範圍從玻璃和石英等平坦基板到矽等曲面。GASONICS Aura 1000擁有一個擴展的運行時間範圍,根據設置的不同,該範圍可延長至75分鐘,從而實現精確的從開始到結束的蝕刻計劃。它的全包系統有一個可靠的陶瓷，冷卻下來的子室，這有助於提高生產率和減少顆粒塵埃。NOVELLUS Aura 1000配備了最先進的Atlas軟件套件,可為用戶提供更精確的控制和對其流程的反饋。集成的現場端點檢測（EP）功能允許對端點進行精確控制,從而大大提高了總體陣列性能。該軟件利用精細的晶粒過程控制和自動化，可以最大限度地減少電動勢波動，並提供卓越的重復性和可追蹤性。這使用戶能夠精確、無與倫比地設計復雜的結構。Aura 1000采用模塊化設計,有助於簡化維護過程,它還包括一個雙端靜電驅動器,允許雙向應用強大的直流偏置,從而實現更廣泛的改進蝕刻效果。通過一個單位的厚膜11跳線矩陣實現，這個獨特的功能允許用戶通過預編程邏輯步驟實時修改模式。所有這些功能為用戶提供了一個重要的益處：最大的流程靈活性。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000配合一系列氣體和等離子體化學，讓使用者根據手頭的任務量身定制其工藝。這臺機器配備了密封噴嘴,確保了卓越的工藝質量,可滿足各種用戶需求,使GASONICS Aura 1000成為那些希望最大限度地提高工藝靈活性的人必不可少的工具。