二手 GASONICS Aura 1000 #293827649 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是在半導體製造過程中常用的蝕刻器/asher。它是一個多室系統，有一個大的主蝕刻室、一個負載鎖室和一個清潔室。它包含一個紫外線光源，並使用專有的離子束蝕刻技術提供精確的蝕刻結果。具有較高的縱橫比深度蝕刻能力，誤差範圍狹窄，精度為+/-15nm。可用於深度蝕刻到2 um寬和2 um深的特征。它能夠加工多種材料，包括矽、鋁、銅、鎢等。叠代掃描機制允許晶圓的高通量蝕刻。它能夠在大約3分鐘內單次掃描更大的晶片，從而減少操作時間和成本。它還配備了雙晶圓穿梭車，允許增加晶圓輸入和輸出能力。高級用戶界面可幫助用戶調整壓力、電壓和電流等參數,以獲得最佳蝕刻效果。GASONICS Aura 1000以其精確的蝕刻方法和出色的重復性而聞名。NOVELLUS Aura 1000以其高精度的精確度,非常適合高精度的模式傳遞、模具堆叠和其他類型的復雜蝕刻應用。廣泛應用於半導體、太陽能、汽車、消費電子等應用。Aura 1000具有許多高級功能,可幫助確保質量蝕刻效果。這些特點包括閉環校準和控制、高壓浪湧保護、防護屏蔽、精確的溫度和壓力控制以及自動晶圓對準。最後，GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款設計精密可靠的先進蝕刻器/asher。它以高縱橫比深度蝕刻能力、高通量掃描機制和眾多先進功能而著稱。GASONICS Aura 1000是一種用途廣泛且可靠的工具，可以投入各種不同的應用中使用。