二手 GASONICS Aura 1000 #293827650 待售

GASONICS/NOVELLUS A 1000是一種半導體asher/etcher，設計用於先進的等離子體蝕刻和沈積過程。它具有一個大容量的加工室，可以容納超過50個晶圓在標準的8英寸，300毫米晶圓卡帶。腔室加壓，可實現最佳氣體管理和減少工藝汙染物。機器還配備了可以處理復雜過程的機器人，並提供具有高可靠性和可重復性的多軸運動。GASONICS A 1000由最先進的微處理器和控制邏輯提供動力，精確執行復雜的過程。控制過程的數字數據使用常用的GASONICS等離子體語言（GPL）編寫,該語言為每個過程量身定制。NOVELLUS A1000還具有NOVELLUS SPC-1000™軟件,它提供了一個圖形用戶界面（GUI）來監控和控制流程。SPC-1000™使操作員能夠在進程進行期間實時監視、控制和調整參數,並存儲配方、數據和結果。BASE GASONICS/NOVELLUS A1000模型帶有感應耦合等離子體源和二極管感應電子束源,能夠實現快速脈沖和高速率沈積,具有復雜的均勻性控制和優越的材料質量。Pwner可選的工藝氣體，包括氧氣和氮氣的形式，允許清潔、氧化、沈積和蝕刻材料。該機還包括由兩級旋轉篩分泵和低維護渦輪泵組成的渦輪泵系統。除了標準的蝕刻和沈積功能外,A 1000還提供用於蝕刻前清洗、蝕刻後清洗、鈍化和剝離過程的選項。GASONICS A1000將蝕刻和沈積工藝結合在一個工具中，為設備制造技術提供了一種高效可靠的方法。NOVELLUS A 1000憑借其精密的工藝控制和眾多的高性能功能,可提供卓越的效果和高度的控制。