二手 GASONICS Aura 1000 #9210307 待售

GASONICS Aura 1000是一款先進的蝕刻器和asher設備，設計用於半導體制造過程，如等離子體蝕刻和光致抗蝕劑剝離。該工具在集成電路、MEMS器件和其他半導體產品的制造過程中起著關鍵作用，通過高精度和可重復性選擇性地去除基板上的材料層。Aura 1000的核心是其先進的等離子體加工技術，利用氣體、射頻（RF）能量和真空條件的組合，創造出一種能蝕刻或剝離不同類型材料的高反應性等離子體。該系統由幾個關鍵組件組成，包括一個工藝室、氣體輸送單元、射頻電源、真空泵和控制接口，所有這些組件共同努力以實現所需的工藝結果。加工室是放置待加工基材的地方，設計用於維護等離子體加工的受控環境。該腔室通常由耐用且耐化學的材料制成，如不銹鋼或石英，以承受等離子體蝕刻和剝離過程中存在的惡劣化學環境。腔室還裝有氣體入口，用於引入加工氣體，排氣口用於清除加工過程中產生的副產品。GASONICS Aura 1000的氣體輸送機負責精確控制過程氣體進入腔室的流量。根據特定的蝕刻或灰化工藝要求，可以使用不同的氣體，例如用於矽蝕刻的氟基氣體或用於光致抗蝕劑剝離的氧基氣體。氣體輸送工具確保正確的氣體混合物以正確的流速輸送到腔室，以達到所需的工藝效果。射頻電源是Aura 1000的另一個關鍵組成部分，提供使過程氣體電離和維持腔內等離子體放電所需的能量。射頻電源產生與氣體分子相互作用的高頻電場，產生一個能與基板表面反應的帶電粒子等離子體。通過精確控制射頻功率水平，資產可以調整等離子體特性，根據特定的材料特性和加工要求量身定制蝕刻或剝離工藝。為了在腔室內維持必要的工藝條件，GASONICS Aura 1000配備了真空泵，可以在加工過程中創造和維持所需的真空水平。真空泵通過排出空氣室和其他汙染物，確保進行等離子體處理的清潔和穩定環境，最大限度地減少有害反應，並確保高工藝重復性和一致性。總體而言,Aura 1000是一個通用且可靠的工具,適用於希望在其生產工作流程中實現精確和受控的蝕刻和剝離過程的半導體制造商。GASONICS Aura 1000憑借其先進的等離子體處理技術、強大的設計和用戶友好的界面,提供了高度的工藝靈活性、可擴展性和控制能力,使其成為各種半導體制造應用的重要工具。