二手 GASONICS Aura 1000 #9241898 待售

GASONICS Aura 1000是一種最先進的蝕刻器/asher設備，在集成電路的制造中廣泛用於半導體工業的等離子體蝕刻和剝離工藝。這套先進的系統融合了尖端技術和創新功能，為關鍵半導體制造應用提供高精度、可靠性和過程控制。Aura 1000具有多功能的腔室設計，允許廣泛的工藝能力，包括蝕刻各種材料如矽、二氧化矽、氮化矽和金屬，以及光刻灰泥。該機組配備了多條氣體管線和質量流量控制器，以精確控制工藝化學和氣體流速，確保整個晶片均勻一致的蝕刻和灰化性能。GASONICS Aura 1000的關鍵亮點之一是其先進的等離子體生成機，利用高頻射頻電源在工藝室中創造出高度均勻穩定的等離子體。等離子體化學在確定晶圓特征的蝕刻選擇性、蝕刻速率和輪廓控制方面起著關鍵作用。該工具為等離子體參數提供了可自定義的調諧選項,例如功率、壓力、氣體成分和偏壓,以優化特定設備結構和材料的工藝條件。除了等離子體生成資產外，Aura 1000還配備了一種創新的氣體分配模式，確保向晶圓表面高效、均勻地輸送工藝氣體。該設備采用了氣體噴頭技術，能夠精確控制氣體流動模式和分布在晶片上，從而在整個晶片表面實現均勻的蝕刻和灰化速率。氣體分配系統還促進快速氣體凈化和腔室清潔周期，以盡量減少過程停機時間，並最大限度地提高吞吐量。GASONICS Aura 1000具有先進的端點檢測功能,能夠實時監控蝕刻或灰燼過程以及對過程端點的精確控制。該裝置利用光發射光譜（OES）或其他復雜技術來探測等離子體發射光譜的變化或與完成蝕刻或灰燼過程有關的其他工藝參數。這樣可以實現準確的端點檢測和過程控制,確保關鍵設備結構的最佳蝕刻深度均勻性和選擇性。此外,Aura 1000還集成了全面的流程數據記錄和配方管理機器,使用戶能夠存儲和檢索流程配方,實時監控流程參數,並分析歷史數據以進行流程優化和故障排除。該工具的用戶友好界面提供了對過程參數、警報和狀態指示器的直觀控制和可視化,使操作員能夠輕松設置和監控蝕刻或灰燼過程,而無需進行最少的培訓。總體而言,GASONICS Aura 1000是一種高性能蝕刻器/asher資產,為半導體制造應用程序提供無與倫比的工藝控制、精度和可靠性。憑借先進的等離子體生成、氣體分配、端點檢測和數據管理功能,該模型為制造下一代集成電路提供了卓越的蝕刻和剝離性能。