二手 GASONICS / BRANSON / IPC 9104 #9196372 待售
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ID: 9196372
晶圓大小: 4"-6"
Plasma asher, 4"-6"
P/N: 15698-02
QUARTZ Chamber
With ENI OEM-12B-06 RF Generator
Power control
BIS 15677-02.
GASONICS/BRANSON/IPC 9104是一款先進的蝕刻器/asher,專為在醫療、光學和其他行業中保持高吞吐量、高產量和高質量的結果而設計。蝕刻器/asher具有用於蝕刻、清潔和功能化Si、金屬、玻璃和許多其他基板的多個源液體射流。IPC 9104使用專有的主動溫度控制設備,為蝕刻和灰化提供最佳的工藝溫度和均勻性。該系統還允許在蝕刻和灰化過程中進行快速的過程更改和精確的過程控制。此外,此蝕刻器/asher還具有先進的數字Vibrasonic攪拌裝置,可確保一致的蝕刻/灰分輪廓以及卓越的均勻性和表面。其先進的數字振動攪拌機有助於消除不需要的反應產物，最大限度地減少缺陷和變異性。BRANSON 9104還由高級模擬NiS/InS配置的PC平臺提供支持。此PC平臺支持遠程流程監視、配方存儲和編輯、統計流程控制以及流程歷史記錄存檔。此外,功能強大的NiS/InS平臺允許跨多個流程參數對流程進行自定義和優化。9104是尋求高吞吐量、高產量、高質量蝕刻和灰化過程結果的用戶的理想解決方案。憑借其先進的數字Vibrasonic攪拌工具、主動溫度控制資產和功能強大的NiS/InS配置的PC平臺,此蝕刻器/asher在最高性能級別上產生了一致的結果。此外,它的設計允許對過程進行自定義和優化,並且易於為所有類型的用戶操作。
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