二手 GASONICS / BRANSON / IPC 9104 #9251583 待售
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ID: 9251583
晶圓大小: 4"-8"
Plasma asher, 4"-8"
(2) Channels
Quartz barrel: 12" x 22" Diameter
Soft pumping and purge valving
(2) Mass flow gas inputs with VCR fittings
Stainless steel plumbing
Temperature monitor: Quartz-coated thermocouple in process chamber
Multi channel / Single board computer controlled with floppy storage
ENI OEM 12B RF Generator: 1250 Watt
13.56 MHz Air cooled with automatic impedance matching network
Display: Touch screen, 21"
For control and monitoring of process parameters
Automatic recipes or manual plasma treatments
Temperature controller
(4) User specified gases with 500 sccm stainless steel MFCs
NEMA-12 Wall mounting enclosure with locking handle
Process pressure: ~120- 2000 mtorr
CE Certified
Power supply: 208-240 Volts, 3Φ, 50/60 Hz, 5 wire.
這款蝕刻器/asher是IPC制造的高速自動濕法加工機。它能夠對晶圓、厚膜、矽等各種基材進行蝕刻和灰化。該系統由三個區域組成：酸/溶劑和環境罐、工作區和烤箱區。酸性/溶劑罐含有一個籃子手推車，最多可容納十五個4英寸/100毫米晶圓，並為最多三個獨立的罐提供精確的酸控制。溶劑和酸的量可以由機器自動調節。籃子手推車從油箱中取出清洗，油箱可以補充。工區是工序的核心，並進行蝕刻或灰化動作。微控制器驅動噴頭將酸/溶劑輸送到晶片站。微控制器還控制SCR電源控制器，該控制器提供高頻能源以電子方式激活蝕刻/灰燼過程。這是機器真正閃耀的地方，因為它可以同時執行蝕刻/灰化，而所有其他過程條件保持不變。烤箱區域有助於在蝕刻/灰化過程後幹燥晶片。烤箱室由不銹鋼構成，在最終幹燥過程中可以達到700攝氏度的溫度。溫度可以用可調時間和溫度參數集來設置和控制。總體而言，GASONICS/BRANSON/IPC 9104是一款精確的蝕刻器/asher。它具有高速過程以及可調節的時間和溫度參數集。該機還包括一個不銹鋼烤箱區，以確保蝕刻/灰化產品的完美幹燥。有了這臺機器，用戶每次都能期待優異的成績。
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