二手 GASONICS / NOVELLUS 2000 II #9093681 待售

GASONICS/NOVELLUS 2000 II是一種用於生產電子產品的蝕刻器/asher。該機基板尺寸可達254毫米（10英寸），圖案面積可達81平方厘米（12.6 「x 6.4」）。它可以蝕刻金屬、電介質、合金、對二甲苯塗層和硬烤光刻膠。GASONICS 2000 II利用GASONICS專利技術COST Beam（通過蝕刻控制濺射）進行等離子體蝕刻。該機設計為高吞吐量,結合快速、精確的過程控制.它還配備了用於增強等離子體蝕刻過程的自動BOOST Beam。NOVELLUS 2000 II在製程室內的製程壓力範圍為1-4 mTorr，製程時間長達20分鐘。它具有3.2 µm或更高的高速臨界尺寸（CD）精度。可以使用可選的源數組來擴展機器的蝕刻能力。這包括一個大功率CEM激光源、直流濺射源、OES或電子回旋共振（ECR）等離子源。工藝溫度控制與先進的冷卻選項相結合，包括基於蒸發的冷卻和向下對流冷卻。2000 II是一個全金屬雙級平臺，具有集成的基板加熱系統和快速流動的氣體輸送。2升（低壓蝕刻）和4.85升（高壓蝕刻）的加工腔室體積可用於蝕刻工藝。GASONICS/NOVELLUS 2000 II包含過程監視設備,其中包括激光光譜儀、實時粒子監視器和後視圖光學剖面儀。LT產品可用於高級過程控制。它配備了用於改進過程控制的Benchtop Vision System。GASONICS 2000 II是蝕刻各種材料的理想工具，包括銀、銅合金和對苯二甲酸塗層，用於先進的生產工藝。該機具有高精度、過程控制和監控設備，是產生高度復雜且浪費最少的模式的理想選擇。