二手 GASONICS / NOVELLUS 2000 II #9129593 待售

GASONICS/NOVELLUS 2000 II是一種全自動設備，用於在各種基材材料中蝕刻或灰化晶片。它旨在為要求最苛刻的蝕刻和灰化應用程序提供業界領先的性能。GASONICS 2000 II以GASONICS Integrated Technology Platform（ITP）為基礎，該平臺具有兩個使用獨特雙反射器架構的激光基集成光學甲板。這使系統能夠在蝕刻和灰化過程中獲得最高的分辨率、質量和吞吐量。NOVELLUS 2000 II具有可變壓力（VP）處理功能,可用於蝕刻和灰化應用。VP處理允許工藝室中的壓力條件越來越低，這取決於材料和工藝流程。這有助於優化設備性能並提高工作效率。2000 II還配備了高級工藝控制（APC）等多種功能，使機器能夠根據材料和工藝流程在蝕刻和灰化過程中調整參數。該工具還具有可選的多處理室（MPC）,允許同時或按順序運行多個蝕刻和灰化過程。該資產還具有高端視頻輔助功能,使操作員能夠在大型顯示器和內置診斷模型上實時查看晶圓處理。這有助於監控設備性能並快速檢測錯誤。最後，GASONICS/NOVELLUS 2000 II還有一個集成的晶片處理系統，包括一個盒式裝載單元和一個用於重型晶片的臂加載機，使工具能夠快速高效地處理大型晶片。GASONICS 2000 II資產的這些先進功能使其非常適合高端蝕刻和灰化應用,從半導體器件到MEM、LED等等。其高精度和精確度是任何其他型號都無法比擬的,使其成為全球蝕刻和灰化實驗室的首選。