二手 GASONICS / NOVELLUS 9102 #9151439 待售

GASONICS / NOVELLUS 9102
ID: 9151439
Plasma etcher.
GASONICS/NOVELLUS 9102 蝕刻器/asher是一種高精度的模具級材料蝕刻工具。它為廣泛的商業、工業和醫療應用提供高精度的材料去除能力。該設備利用脈沖激光束進行材料蝕刻和去除,並通過激光束泵送冷氮氣來操作,以保護周圍的表面和部件免受熱損傷。它已被用於生產MEMS和半導體器件,以及醫療器件制造和芯片實驗室器件。GASONICS 9102設計用於將曲線、線條、圖案和特征蝕刻到工件中,而不會損害細膩的底層特征。該系統是可編程的,可以一次處理多個模具。它還能夠處理玻璃、矽、專利、陶瓷、金屬等多種材料。該機配備了高精度的F-Theta聚焦單元,允許執行復雜的結構和亞微米光刻。NOVELLUS 9102是一款可靠、快速、高效的蝕刻器,提供卓越的品質模式和功能。它的占地面積僅為10ft2,使其能夠用於研究設施和實驗室。其高度自動化的設計支持無人值守的蝕刻和材料應用。其強大的能力通過其實時激光控制得到進一步增強,提供持續時間短至10納秒的單頻能量脈沖。9102具有簡單的用戶界面,並提供出色的熱控制,使蝕刻深度均勻。它還提供精細材料去除和微調蝕刻控制的氣體混合能力。創新機器處理速度快,是工業和醫療應用的高效選擇。由於其堅固的結構和合理的價格,它越來越成為研究人員和商業工程師的首選。
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