二手 GASONICS / NOVELLUS 9102 #9238248 待售

GASONICS/NOVELLUS 9102是一種為微制造和納米加工應用而設計的蝕刻器/asher設備。本機用於薄膜蝕刻和材料濺射，在基板上創建小規模特征。GASONICS 9102配備了兩個高功率KrF激光器，能夠在直徑達4英寸的基板上蝕刻25 nm的特征。此外，NOVELLUS 9102還配備了多達4個低溫輸送系統和4個蝕刻/濺射源。9102高度自動化,具有易於使用的圖形用戶界面（GUI）,使用戶能夠快速設置其蝕刻過程。GASONICS/NOVELLUS 9102具有光學監控、壓力、溫度等多種過程控制功能。該系統還配備了自動重啟功能和動態熱控制單元。GASONICS 9102有多種工藝室，包括單室、雙室和帶大載荷鎖室的單模室。更復雜的系統有多個腔室和大腔室大小。NOVELLUS 9102能夠以極高的速度蝕刻/濺射，這對於大容量的應用尤其有利。9102與金屬、半導體、玻璃、合金、陶瓷、有機材料等各種基材配合使用良好。此外,基於Windows的GUI軟件允許實時過程監控和優化,以實現最高的生產效率。GASONICS/NOVELLUS 9102的層厚精度為0.5%或更高，重復性為0.3%。綜上所述，GASONICS 9102 蝕刻器/asher是一種多用途的機器，它結合了速度和精度，能夠實現高精度的微納米制造。其高功率激光和動態熱控制工具使其成為生產過程中可靠的工具。NOVELLUS 9102以其人性化的GUI易於使用，與多種基板兼容。