二手 GASONICS / NOVELLUS A 2000LL #293595026 待售
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ID: 293595026
Asher
Part No: 99-0339
Non-copper
Components:
Qty / Make / Model / Description / Part number
(1) / - / - / Load lock chamber / A95-205-01 / 56-7923
(1) / GASONICS / 94-1175 / Indexer elevator / 04630-003
(1) / GASONICS / 94-1174 / Indexer elevator / 04630-004
(2) / GASONICS / 94-1118 / Load lock elevators / 04290-201
(1) / GASONICS / - / Loadlock rear panel display / -
(1) / MKS INSTRUMENTS / Baratron / - / 122A
(1) / MKS INSTRUMENTS / 152 / Pressure controller / 152H-P0
(1) / MKS INSTRUMENTS / - / Valve / 253B-11020
(1) / - / - / HNL Asher module / -
(1) / VARIAN / - / Valve / L6281-701
(1) / VARIAN / - / Valve / L6281703
(1) / OMRON / Sysmac C40H / PLC / C40H-060R-DE-V1
PCB:
Make / Model / Description / Part number
GASONICS / - / Controller board / 90-2658
GASONICS / - / Display decoder / 90-2609
GASONICS / - / Loadlock interface BD / 90-2608
HINE DESIGN / - / ARM Controller board / 02423-001 / 06764-001
NOVELLUS / A2000 / Interlock BD / 90-2735
Wafer handling robot / arm unit missing
CE Marked.
GASONICS/NOVELLUS A 2000LL是一款高性能蝕刻器/asher,專為先進的半導體制造而設計。它使用先進的等離子體蝕刻和灰化技術，使各種材料的控制蝕刻和灰化具有很高的精確度。該裝置利用一個強大的磁控管來創建一個高能等離子體，這是非常有效的蝕刻和灰化各種材料。其先進的控制算法，以精確控制參數，確保最小的過程變化，可重復性和提高產量。為了獲得所需的蝕刻和灰化結果，GASONICS A 2000LL采用了先進的2室系統，在蝕刻和灰化方面具有高度的均勻性和準確性。通過在第一個腔室中引入蝕刻和灰化氣體的混合物，開始了這一過程。電感耦合等離子體是通過用射頻輻射照射氣體而產生的，這將用於蝕刻和灰化材料。等離子體在蝕刻/灰化循環結束時被停用，腔室被清空加工氣體。然後通過引入新鮮的蝕刻和灰化氣體在第二個腔室中繼續進行這一過程。該裝置還利用有效的熱管理技術進行精確的蝕刻和灰化性能。腔室的路徑是溫度控制的，以確保過程的均勻性和一致性。在該腔室中啟用高壓清潔循環，有助於減少側向過度暴露。該設備還可以根據應用調整射頻發生器的頻率和大小。NOVELLUS A 2000LL以其先進的等離子體蝕刻/灰化技術、強大的磁控管和有效的熱管理技術,是一種精確度較高的各種材料蝕刻和灰化設備。它提供了卓越的產量，過程可重復性和可靠性顯著提高。
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