二手 GASONICS / NOVELLUS A 2000LL #293595030 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293595030
Asher
Part No: 99-0339
Non-copper
Components:
Qty / Make / Model / Description / Part number
(1) / - / - / Load lock chamber / A95-053-02
(1) / GASONICS / 94-1175 / Indexer elevator / 04630-003
(1) / GASONICS / 94-1174 / Indexer elevator / 04630-004
(1) / GASONICS / 94-1118 / Load lock elevators / 04290-201
(1) / GASONICS / 94-1119 / Load lock elevators / 04290-101
(1) / GASONICS / - / Loadlock rear panel display / -
(1) / MKS INSTRUMENTS / Baratron / - / 122AA-00010DB
(1) / MKS INSTRUMENTS / 152 / Pressure controller / 152H-P0
(1) / MKS INSTRUMENTS / - / Valve / 253B-11020
(1) / - / - / HNL Asher module / A93-021-01
(1) / VARIAN / - / Valve / L6281-701
(1) / VARIAN / - / Valve / L6281703
(1) / VARIAN / - / Valve / L6280-302
(1) / OMRON / Sysmac C40H / PLC / C40H-060R-DE-V1
PCB:
Make / Model / Description / Part number
GASONICS / - / Controller board / 90-2658
GASONICS / - / Display decoder / 90-2609
GASONICS / - / Loadlock interface BD / 90-2608
HINE DESIGN / - / ARM Controller board / 02423-001 / 06764-001
NOVELLUS / A2000 / Interlock BD / 90-2735
Wafer handling robot / arm unit missing
CE Marked.
GASONICS/NOVELLUS A 2000LL是一種高度先進的蝕刻器/asher,設計用於半導體行業的研發。這種裝置能夠在矽基板上產生極薄的材料層，精度只有一納米。它利用化學蝕刻工藝和物理氣相沈積技術來做到這一點。這可用於以受控方式將薄層材料如氧化鋁或氮化鋁沈積到散裝材料基板上。GASONICS A 2000LL配備了兩個強大的激光系統，其中一個用於蝕刻基板，另一個用於在其上沈積薄層。它還內置了一個傳感器來監控工藝參數，這樣用戶就可以調整壓力、溫度和其他參數以獲得更好的效果。它提供了極其幹凈的工作環境，其精確度和精確度無與倫比。NOVELLUS A 2000LL的光束大小可達200微米，其產生的層可以控制到1納米的厚度。它是一種速度非常快的設備，能夠每小時產生多達2000個晶圓。此外，它的效率和可靠性是一流的，它需要最少的操作員幹預。最後，A 2000LL是專門為半導體工業研發用途而設計的一種高度先進的蝕刻器/asher。它是一種快速、安全的設備，精度和精確度都很高，能夠在矽基板上產生極薄的材料層，精度只有一納米。其效率、可靠性和清潔的工作環境使其成為研發應用的理想設備。
還沒有評論