二手 GASONICS / NOVELLUS AE 2001 #293597599 待售

GASONICS/NOVELLUS AE 2001是一個蝕刻/asher系統，設計用於處理多種材料，特別是在半導體器件制造中。本機用於進行多種蝕刻和灰化操作，如深蝕刻、氫氟蝕刻、硫化物蝕刻、等離子體蝕刻等。它配備了多區動態過程控制，以便進行精確的溫度和壓力控制，從而實現最佳處理。GASONICS AE 2001是由一個加工鋁基建造而成。它具有真空室，帶真空泵和閥門，以及一個控制面板內置在前面。該工藝室還有兩個用於裝卸零件的機器人，以及兩個加熱器元件，方便過程加熱。該機還具有兩種化學輸送系統，一種用於供應蝕刻化學品，另一種用於供應灰化化學品。NOVELLUS AE2001可以加工多種材料，包括金屬合金、電介質和聚合物。其設計目的是提供一致的結果，具有可接受的化學均勻性、高分辨率和高精度。它還有一個車載數碼相機系統，用於監控過程，以確保一維結果。AE 2001具有廣泛的能力和工藝，包括深蝕刻、氫氟蝕刻、硫化物蝕刻、等離子體蝕刻、幹蝕刻、化學蝕刻等等。這些過程中的每一個都能夠以相同的精度和準確性實現自動化和處理。該工藝室的設計使操作更加安全和安靜，而且易於維護和清潔。AE2001是一個可靠和多用途的蝕刻器/asher，適合各種材料。GASONICS AE2001以其多區動態過程控制、快門定時等自動控制以及在同一周期內蝕刻和灰燼的能力，可以成為任何設備制造過程中的寶貴工具。其可靠、準確的結果，加上易於維護和操作，使其成為許多應用的理想選擇。