二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293586844 待售

GASONICS/GASONICS/NOVELLUS AURA 1000是一種用於半導體器件制造的蝕刻器/asher，用於在基板上創建平坦的表面和定義明確的器件結構。GASONICS Aura 1000由氣體輸送模塊、電源和物理平臺三個主要組件組成。它旨在為各種基材，包括矽、石英和氮化物，產生均勻、高質量的結果。氣體輸送模塊可實現廣泛的工藝化學和材料特異性燒蝕工藝。它具有獨立控制多達四種前體氣體和幾種氙氣支撐氣體的功能，具有獨特的幾何形狀和層數的靈活性。典型的流量範圍為0.1至10 SLPM，使氣體流量控制準確，同時減少必要試劑的數量。壓力穩定器能夠控制室內壓力，調節蝕刻速率，最大限度地減少表面缺陷的形成。該電源為設備提供可靠、高精度的電源傳遞,並具有出色的溫度穩定性。它具有脈沖控制能力，範圍從10到100 µs不等。電源還允許高功率傳輸,高達400瓦,具有可調的脈沖重復速率和頻率。NOVELLUS Aura 1000的物理平臺是為了穩定、魯棒性和準確性而設計的。它的寬度為40英寸，長度為40英寸，高度為55英寸，安裝在一個隔離的基座上進行振動控制，減少了由於運動而造成的晶圓斷裂。它還具有一個大的無粒子工藝室，直徑為20英寸，使得更大的晶圓尺寸可以一次處理。總之，NOVELLUS/Aura 1000是專門為半導體器件制造而設計的蝕刻器/asher。它具有材料特定燒蝕工藝的靈活性，可靠、高精度的電力輸送，具有出色的溫度穩定性。此外，它的大型無顆粒工藝室允許更大的晶片以更高的精度和穩定性進行處理，從而形成定義明確的器件結構。