二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293594312 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款最先進的蝕刻器/asher,旨在為45nm以下的設備制造提供先進、高精度的工藝。傳統的蝕刻器用來雕刻底物的不需要的區域，而asher則使用化學過程使膜符合底物，提供「蝕刻」到非常精細、均勻的細節的能力。GASONICS Aura 1000結合了asher的精確度和常規蝕刻器的效率，提供了針對高性能、低成本和靈活性優化的解決方案。NOVELLUS Aura 1000使用兩個磁濾鏡提供精確調諧、匹配的蝕刻和灰化技術。第一個過濾器是一個真空源路徑，允許生產超細蝕刻結構的分辨率低至37.5nm。這是目前此類蝕刻/灰燼系統中可用的最佳分辨率。第二種濾波器是一種惰性氣源路徑，用於支持分辨率低於45nm的保形灰化。Aura 1000還配備了現場表面觀測設備，采用光束成像和數碼CCD相機。該系統提供對表面輪廓的內聯監控,並允許調整蝕刻條件,以提高精度、分辨率和可重復性。該裝置還支持用於蝕刻氮化物、多晶矽和銅層以及許多其他材料的光阻痕量蝕刻。多級處理能力是GASONICS/NOVELLUS Aura 1000的另一個特色。該單元允許在一個周期內對多層進行完全並行處理,最多可處理12級蝕刻/灰分。這樣可以最大程度地靈活地將蝕刻/灰分條件從一種基材匹配到另一種基材。最後，GASONICS Aura 1000提供了多種工藝模塊，允許快速適應其他蝕刻/灰燼工藝。這些模塊為用戶提供了更高的靈活性級別,並能夠實現更高的吞吐量,而無需執行其他設置工作。綜上所述，NOVELLUS Aura 1000是針對高性能、低成本和靈活性而優化的創新蝕刻器/asher。它的兩個磁濾器和它的原位表面觀測機使它成為提供無與倫比的分辨率和重復性的前沿裝置。多級處理能力和過程模塊也使其成為各種應用程序的理想選擇。