二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293619546 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款高級蝕刻器/asher，用於先進的微加工和半導體制造工藝。憑借其多級架構，GASONICS Aura 1000提供了精密控制、高均勻性、吞吐量無與倫比的組合。它的先進技術可以適應現代設備生產的挑戰，包括嚴格的公差和特征尺寸和幾何形狀的均勻性。NOVELLUS Aura 1000架構設計在優化生產吞吐量的同時提供最大的加工靈活性。它采用多軸機械平臺，在整個循環過程中提供穩定、均勻的工藝環境，振動最小。其電動驅動和自動化使流程集成和配方的高級控制成為可能。內置診斷可快速反饋設備性能和準確性。Aura 1000提供了多種化學和沈積材料選擇，允許用戶創建廣泛的幾何形狀和其他特征。它還可以支持不同來源的輻射能和可調節的加熱器板，提供獨特的環境來維持最佳的工藝參數。該系統能夠處理各種基材材料，如石英、矽片、金屬合金箔和有機聚合物基材。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000極為人性化，具有直觀的圖形用戶界面（GUI）。它可以從任何啟用Web的設備遠程操作，其內置的可擴展數據采集單元允許連接到其他自動化系統、數據庫和軟件包。通過支持多個序列文件,可以針對不同的應用程序進行流程優化。GASONICS Aura 1000的高速機動化晶片夾緊機，加上先進的防護措施，有助於減少循環時間，讓刀具以更快的速度產生更高的產量。它的多個工藝通道和可選的原位成像資產允許對多個基板進行並行處理。高級自動化確保了一致的結果和最佳的性能。NOVELLUS Aura 1000是生產尖端納米和微量制造的理想選擇。憑借其高端功能和直觀的用戶界面,它提供了前所未有的精確控制和高吞吐量組合,使用戶能夠應對現代半導體工藝的挑戰。