二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293621802 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款先進的蝕刻/asher設備，設計用於生產半導體基元件。該系統能夠進行蝕刻、切割和其他過程。GASONICS Aura 1000能夠熱處理尺寸不超過8英寸的晶片，並利用射頻蝕刻、順序蝕刻、2通道蝕刻和前面提到的技術組合等廣泛的技術，是用於半導體產品生產、開發和研究的強大蝕刻/粉刷裝置。NOVELLUS Aura 1000利用一系列氣體分配系統，提高硬蝕刻工藝的精確度和一致性，允許半導體基材更精細的分辨率和更清潔的蝕刻輪廓跨越更大和均勻的尺寸。該裝置的設計目的是從精確的溫度設置中精確控制蝕刻/粉碎室的溫度，確保能夠實現精確的蝕刻過程。此外，該機組擁有先進的熱射流通風機，在整個蝕刻過程中提供工藝室和基板的均勻冷卻，防止基板過熱和能量浪費。Aura 1000還包括一個氣體操作模塊，能夠在蝕刻/粉碎室內的各種氣體中調節氣體壓力和成分。這允許用戶即時微調氣體成分，同時確保蝕刻/粉碎器工藝參數在基材加工的持續時間內保持一致。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000除了具有蝕刻/灰化功能外，還提供了一系列額外的有用功能。它的高壓、大功率脈沖發生器能夠產生高能脈沖，允許創建堅硬、耐用、高密度的蝕刻/粉碎層進行蝕刻。它還具有用於深蝕工藝的控制工具，能夠準確控制整個基板上的深蝕深度和均勻的蝕刻工藝。該單元還提供了一系列過程時間/溫度自動化選項,允許用戶根據自己的特定需求自定義其蝕刻/灰化過程。GASONICS Aura 1000提供了一系列蝕刻/asher能力，使其成為生產、開發和研究環境的寶貴蝕刻/asher資產。它的一系列工藝、控制選項和氣體處理功能為用戶提供了一個功能廣泛、功能強大的蝕刻/粉碎器模型,能夠在各種基板上產生一致和可靠的結果。