二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293622463 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款高精度的蝕刻器或asher。它是一種用於制造超小型電子元件的工具，廣泛應用於半導體和電子制造。GASONICS Aura 1000結合了先進的蝕刻技術和全面的功能，為制造領先的納米技術器件創造了強大、可靠和經濟的工具。NOVELLUS Aura 1000利用高端ElectroChemical Processing （ECP）提供了比常規蝕刻方法更高的精密蝕刻和更少的工藝缺陷。ECP是一種可靠且極精確的技術，利用加速、高能離子實現精細計劃的蝕刻。光環1000與廣泛的材料兼容，包括金屬、電介質、塑料和合金。這使得它非常適合生產下一代半導體器件和其他組件。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000具有一系列功能,旨在確保最佳的過程控制和蝕刻均勻性,並節省時間和金錢。這些包括高位置精度、9個蝕刻程序範圍、確保小特征精確蝕刻的高速10 X掃描、集成故障檢測以及可調節的預蝕刻周期，以便在非金屬材料上更快地蝕刻。這樣可以確保蝕刻均勻性、蝕刻選擇性和位置精度都得到優化,從而導致更高的產量和更少的工藝缺陷。GASONICS Aura 1000還具有工具維護自動化系統，使操作員能夠輕松規劃和監控預防性操作，減少停機時間並延長工具使用壽命。此外,GASONICS尖端診斷儀表板軟件使操作員能夠快速、連續地監控工具的狀態,評估趨勢並優化過程參數。總體而言,NOVELLUS Aura 1000是一款功能強大且可靠的精密蝕刻器或asher。它將高精度ECP蝕刻技術與一系列全面的先進功能相結合，非常適合生產下一代納米技術設備。加上自動維護和診斷功能,Aura 1000為高精度蝕刻或灰化操作提供了經濟高效的解決方案。