二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9105746 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款先進的蝕刻器和asher，結合了GASONICS和NOVELLUS的既定優勢，打造出一款健壯、高通量的工具。利用GASONICS/NOVELLUS低溫反應離子蝕刻（RIE）技術，結合GASONICS高溫工藝技術，GASONICS AURA 1000可以加工多種材料，是任何研發或商業應用的理想選擇。NOVELLUS Aura 1000可以在廣泛的溫度範圍內（需要時最高700 °C）進行蝕刻，確保了質量蝕刻輪廓和高吞吐量。NOVELLUS RIE系統由低溫、高度感應線圈和控制電子設備組成,可實現精確的溫度、壓力和蝕刻流控制。這有助於確保一致的蝕刻配置文件和過程可重復性。Aura 1000還提供了通過GASONICS/NOVELLUS定向微電池RIE進行高級蝕刻的能力。此過程允許在垂直和水平過程中進行精確的定向蝕刻,並具有高精度和可重復性。例如,可以控制背面蝕刻過程,以確保所需的深度、空隙和特征形狀和大小。GASONICS RIE和NOVELLUS定向微粉技術的組合有批量和單晶圓兩種模式，使其成為需要定向蝕刻的研究和生產過程的理想工具。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款具有開放平臺的即插即用工具，使其具有高度可配置性。此外,還提供了多種配件和選項,可讓您根據工作流程定制系統。它旨在利用GASONICS/NOVELLUS和GASONICS領先的技術,並且可以隨您的應用程序而增長。GASONICS Aura 1000是一款可靠且值得信賴的蝕刻器和asher，結合了兩全其美。先進的蝕刻能力、高度精確的溫度和壓力控制,加上強大的高通量功能,使其成為尋求通用高效工藝解決方案的科學家和工程師的首選工具。