二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9171308 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是Goliath級蝕刻系統，旨在滿足光刻工藝的尖端需求。GASONICS具有一個單一的、類似溝槽的腔室，其中包含精確的計算機控制的射頻加熱元件，以實現卓越的精度和過程均勻性。GASONICS Aura 1000上的Etch腔室由塗有高性能陶瓷的矽基和石英基材料構成，有助於保護腔室免受腐蝕和顆粒的侵蝕。在內部，腔室配有一個集成的旋轉器，允許對整個基板進行統一的加熱過程。NOVELLUS Aura 1000還包括先進的機械真空控制設備，在腔室內建立真空環境。這與額外的射頻加熱元件相結合，可以使基板輪廓均勻，而不會影響基板材料的結構。Aura 1000還配備了一個先進的系統，用於監控被稱為智能過程控制的蝕刻過程。該單元用於測量和監控腔室內的蝕刻環境，可以精確測量過程的溫度、壓力和射頻頻率等方面。機器也被編程為允許根據工藝應用的具體要求進行調整。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000還具有高精度的物料輸送工具，允許物料的精確輸送直接進入蝕刻室。它標配精密轉換室，確保了清潔和高精度的材料輸送和高基板吞吐量。作為一個額外的預防措施，機器還包括一個高壓返回資產，防止任何空氣中的粒子進入它的房間。GASONICS Aura 1000能夠處理各種材料，從矽和石英到金屬和陶瓷。它是可編程的調整參數，以允許各種材料的最佳蝕刻，包括最具挑戰性的結構，如微觀，溝槽，和遮罩層。NOVELLUS Aura 1000是任何蝕刻和粉刷設備的寶貴工具,能夠大大提高工藝的效率和準確性。無論是加工敏感結構還是硬質合金材料，本機都是一種強大可靠的蝕刻選擇。