二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9186489 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款下一代蝕刻設備，專為在矽片上大批量生產獨特的高分辨率蝕刻特性而設計。它具有先進的直接驅動器平臺,可實現更精確的功能蝕刻和簡化的過程基礎架構。它提供了對蝕刻參數的更大控制、更快的循環時間和卓越的薄膜質量,從而減少了過程中的缺陷。GASONICS Aura 1000配備了最新一代蝕刻硬件，基於GASONICS現場驗證的CVD架構，可配置各種蝕刻模塊。該蝕刻板采用微機電系統（MEMS）的蝕刻發生器陣列,能夠對狹窄的溝槽和其他先進的蝕刻特性進行高精度圖樣繪制。此外,平臺還支持移位寄存器體系結構,以減少在蝕刻步驟之間移動晶片所需的開銷時間。NOVELLUS Aura 1000通過應用先進的配方優化算法保持可靠的蝕刻性能，該算法自動調整蝕刻參數以匹配晶圓的材料特性，確保一致的蝕刻性能。此功能在處理獨特的薄膜或多層結構時特別有用。Aura 1000還配備了幾個安全功能，包括封閉式腔室、安全關閉開關以及最新的聯鎖技術。它還設計為能夠抵抗電湧和其他破壞性電源問題。此外，該機組還配備了排氣過濾器，以減少工藝區域中存在的顆粒數量。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000可並行處理多達八個晶圓，並且設計為利用最新的高速通信協議，使其成為需要高吞吐量和重復性的系統的理想選擇。它還與行業標準的工具和基礎架構（包括自動化系統）兼容。總體而言,GASONICS Aura 1000是業界領先的蝕刻機,具有高精度蝕刻、快速循環時間和簡化的工藝基礎架構。憑借其可靠的性能和安全特性，NOVELLUS Aura 1000是半導體蝕刻應用的理想選擇。