二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9188601 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款先進的蝕刻器/asher，用於先進的光刻工藝，用於集成電路（IC）的制造。GASONICS Aura 1000旨在支持廣泛的應用和過程，如高端柵極氧化、化學氣相沈積（CVD）、物理氣相沈積（PVD）和離子植入。利用多階段蝕刻/灰分工藝進行精密工藝控制，提高蝕刻質量。NOVELLUS Aura 1000采用堅固、模塊化和可擴展的設計進行組裝,可提供可靠的工作環境和長期設備可靠性。它能夠處理直徑達300毫米的晶片，厚度範圍為0.35mm。該系統具有多階段體系結構,可提供精確的過程控制和改進的蝕刻質量。它具有自動吊蓋、裝卸系統，貨架與貨架完全一致。Aura 1000具有提供高分辨率和高寬高比蝕刻以及最小側壁損壞的能力。它配備了包括高分辨率掃描儀、先進微處理器和精密濺射槍在內的幾個先進部件。這些組件旨在提供極其精確的蝕刻功能,包括控制精細的特征支持間距和線寬。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000配備了高區掃描控制（ZSC）單元，用於小特征的精確蝕刻。它還具有快速掃描能力，快速蝕刻速率。機器先進的微處理器功能確保了蝕刻程序的快速實施。其超高速掃描控制可確保更精確的小特征蝕刻。此外，該工具還配備了強大的清潔技術，如高壓霧化去離子化水浴，能夠高效有效地清潔蝕刻後的基板。綜上所述，GASONICS Aura 1000是一款用於高端光刻工藝的高級蝕刻器/asher。它是一種模塊化和可擴展的資產，可以處理直徑達300 mm的晶片，厚度範圍為0.35mm。該型號配備了高分辨率掃描儀、先進微處理器、精密濺射槍等幾個先進部件。此外,它還具有快速掃描能力,快速蝕刻速率,超高速掃描控制微細特征支持間距和線寬,先進的清潔技術,以及用於精確蝕刻小特征的高區掃描控制（ZSC）設備。