二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9194328 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款工業級蝕刻器/asher，專為納米圖案化敏感基板而設計。利用專利真空技術對晶片批與批之間的蝕刻速率、深度、均勻性和特征對準進行精確控制。蝕刻器/asher裝有超高精密等離子體源，用於精確蝕刻納米級圖案。該源利用無臭氧氦氣，蝕刻速率高達每分鐘20nm。由於其高精度，該單元可以在0.02nm均勻度下實現2nm級的特征尺寸。它包括各種硬件和軟件功能,旨在降低擁有成本並最大限度地提高吞吐量。電源包括手動和遠程控制選項。有兩種基板映射的選擇-手動和自動-允許用戶選擇所需的確切特征。GASONICS Aura 1000能夠進行完整的測試，包括蝕刻速率和輪廓控制。用戶可以使用的選項包括薄膜沈積、晶片成像、預蝕刻氣體調節以及其他允許更精確蝕刻較小特征的尖端選項。該單元還具有嵌入式過程故障排除功能,可提供有關改進蝕刻過程的建議。該單元帶有直觀且用戶友好的圖形界面,為用戶設置和監視流程提供了一個交互式環境。NOVELLUS Aura 1000還有一套診斷工具，允許用戶快速診斷和修復問題。該單元還具有快速釋放機器人技術，使用戶能夠在操作人員幹預最少的情況下重新加載和卸載晶片。它還支持完整範圍的晶圓形狀和尺寸，讓用戶達到完美的圖案要求。總體而言，Aura 1000是一款功能強大的蝕刻工具，旨在為用戶提供世界級的性能和可靠性。它設計用於研發和小型生產環境，非常適合各種微電子應用。